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KRI離子源電源維修自動控制器GCF12602F01C-01

Kaufmαn Source Controller考夫曼KRI離子源自動控制器維修；離子源電源全系列型號修理。

KRI電源模組集成包有單獨(dú)的電源模組衍生而來，因?yàn)?KRI 的電源模組是一種標(biāo)準(zhǔn)的模組，所以這些模組能夠容易的集成到自動、多功能的功率包中。集成包是一個強(qiáng)有力的工具，能夠簡化等離子、離子和電子源的操作, 可以方便的實(shí)現(xiàn)功率控制的更優(yōu)化.

當(dāng)經(jīng)常應(yīng)用在如下的場合：

1. 工藝工程師想實(shí)現(xiàn)寬范圍的工藝設(shè)計和優(yōu)化，渴望確保參數(shù)的重復(fù)性，工藝可控

2. 生產(chǎn)經(jīng)理想實(shí)現(xiàn)一個簡單的命令操作，使工藝參數(shù)快速穩(wěn)定

3. OEM 想實(shí)現(xiàn)高的集成度從而降低成本

4. 從事薄膜表面和結(jié)構(gòu)的科研工作想實(shí)現(xiàn)靈活、很好的工藝控制

eH Plasmα Power Pack Controller---eH 等離子功率集成包

eH 等離子功率集成包用于驅(qū)動 end-Hall 離子源，它由電子發(fā)射模組、等離子放電模組和自動系統(tǒng)控制模組組成，結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕便。適用于材料工藝中要求穩(wěn)定和很好的電子或離子源的功率控制。

eH Plasmα Power Pack 有自我保護(hù)功能，同時它是一個快速反應(yīng)的功率源，可以在幾秒鐘內(nèi)點(diǎn)火產(chǎn)生等離子，并在幾秒鐘內(nèi)使離子束達(dá)到穩(wěn)定�？梢源鎯Χ鄠�工藝程序、控制多個MFC確保對多種氣體和氣體混合物的準(zhǔn)確控制。

使用者能容易的設(shè)置各種參數(shù)和模式、狀態(tài)，面版上會顯示出設(shè)定值、運(yùn)行值、功能表存儲資訊和工作狀態(tài)資訊。

KRI RFICP Ion Power Pack Controller 射頻感應(yīng)耦合等離子功率集成包

RFICP Ion Power Pack Controller 用于驅(qū)動有柵離子源，由中和器模組、放電模組、偏壓模組和加速模組組成，這些模組集成在一個 19” 的集成包中。

RFICP Ion Power Pack Controller 給離子源的射頻線圈、離子光學(xué)和中和器提供電源，將射頻功率耦合到輝光放電腔室，產(chǎn)生高密度的等離子體。配有自動阻抗適配器實(shí)現(xiàn)更優(yōu)化，用戶可以選擇離子源和離子密度來滿足工藝的要求。廣泛用于沉積和刻蝕工藝中。

KRI離子源電源維修/考夫曼離子源自動控制器維修射頻的額定功率 0.5 KW 或更高，中和器的額定功率 0.5 A 或更高。