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維修進口設(shè)備電源，主要有高壓電源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流電源（DC Power Supply）、射頻電源(RF Generator)、微波發(fā)生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等專業(yè)設(shè)備維修。

RF Generator射頻電源維修和配套直流電源維修： AE（ADVANCED ENERGY）射頻電源/直流電源維修, MKS ENI射頻電源維修,

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