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大功率射頻RF電源維修，太陽能光伏、半導(dǎo)體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的設(shè)備電源，包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC。

維修進口設(shè)備電源，主要有高壓電源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流電源（DC Power Supply）、射頻電源(RF Generator)、微波發(fā)生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等專業(yè)設(shè)備維修。

RF Generator射頻電源維修和配套直流電源維修： AE（ADVANCED ENERGY）射頻電源/直流電源維修, MKS ENI射頻電源維修,

DAIHEN射頻電源維修, KYOSAN射頻電源/直流電源維修, COMDEL射頻電源維修, ADTEC射頻電源維修, SEREN射頻電源維修

RF MATCH(射頻電源匹配網(wǎng)絡(luò))維修： AE （Advanced Energy） RF Match Network，LAM RF Match Network，AMAT RF Match Network，  SEREN RF MATCH NETWORK，DAIHEN RF Match Network，SEREN RF Match Network電源維修

高壓電源維修： HiTek Power supply高壓電源維修， Varian高壓電源維修，ADVANCE HIVOLT高壓電源維修，Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高壓電源維修，GLASSMAN高壓電源維修，SPELLMAN高壓電源維修

直流電源維修： LAMDBA ESS/EMI直流電源維修，Delta ELEKTRONIKA直流電源維修，SORENSEN直流電源維修，AMETEK可編程電源維修，POWER TEN直流電源維修，燈絲電源、X射線電源維修，曝光燈電源維修USHIO（ Mercury lamp power supply）

微波電源發(fā)生器維修：MUEGGE Microwave Power Supply微波電源維修，ASTeX AGL系列微波電源維修Microwave Generator，ASTeX Smart Match電源維修

RPSC電源維修 ：MKS 2L 3L 6L 8L 15L 22L電源維修

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