AE脈沖直流電源維修PINNACLE PLUS10K20K
AE脈沖直流電源維修PINNACLE PLUS10K20K北京
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Pinnacle® Plus 系列Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus 電源為單體直流脈沖電源，為您的反應(yīng)工藝提供脈沖直流電解決方案所有優(yōu)點，包括使用簡單、節(jié)約成本以及具有的靈活性。結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)直流電技術(shù)和經(jīng)過工藝證明的脈沖直流電技術(shù)，Pinnacle Plus 電源與復(fù)雜而昂貴的交流電解決方案相比，沉積率更高，重復(fù)性能更好，薄膜質(zhì)量更為優(yōu)異。優(yōu)勢:
更高的沉積率與產(chǎn)品率
薄膜均勻性和品質(zhì)一流
成弧造成的基材損壞減少
成本更低
系統(tǒng)整合容易
工藝靈活性和寬容度
重復(fù)性能
在過度曲線上運行穩(wěn)定
吞吐量更高
系統(tǒng)靈活性特點:
一個緊湊型封裝
頻率調(diào)節(jié)范圍為 5-350kHz
占空比大
電壓范圍寬——單輸出寬阻抗范圍
大功率運行
基材溫度低
單輸出（5kW 和 10kW 型號）
用于雙陰極生產(chǎn)的雙輸出（雙路5kW 型號）
弧控制
反應(yīng)性濺射閉環(huán)控制規(guī)格：
輸出功率：5KW單輸出、5KW雙輸出、10KW單輸出
電壓范圍：325-650VDC，可選325-800VDC輸出（寬Z）
輸出功率接頭：五個終端、DIN壓縮接頭；電線尺寸：＃6 AWG
輸出接頭：兩個終端、多個觸點、帶有應(yīng)力釋放功能的可插入式接頭或UHF接頭
電流：15.4ADC；15.4ADC/輸出；30.8ADC
頻率：5到350KHz，可變
反向電壓：工作電壓的0.1
點火功能：1500VDC，正常1350VDC
調(diào)節(jié)模式：功率、電壓或電流
交流線電壓：200/208、400或480VAC
電流：5KW：200/208VAC：標(biāo)稱值17A/Φ
400VAC：標(biāo)稱值8.5A/Φ
480VAC：標(biāo)稱值7.5A/Φ
5KW雙輸出/10KW單輸出200/208VAC：標(biāo)稱值35A/Φ
400VAC：標(biāo)稱值17A/Φ
480VAC：標(biāo)稱值15A/Φ
RF Generator射頻電源維修和配套直流電源維修 1、AE(ADVANCED ENERGY)射頻電源/直流電源 2、MKS ENI射頻電源/直流電源 3、DAIHEN射頻電源 4、KYOSAN射頻電源/直流電源
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