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高壓發(fā)生器的原理:控制電路是采用電壓和電流兩路負(fù)反饋回路對(duì)高壓發(fā)生器進(jìn)行控制，同時(shí)通過兩個(gè)可調(diào)電阻實(shí)現(xiàn)微調(diào)，在X射線質(zhì)譜儀高壓發(fā)生器控制電路內(nèi)部，采用單片機(jī)對(duì)X射線質(zhì)譜儀高壓電源智能控制系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，同時(shí)通過反饋值直接系數(shù)校準(zhǔn)的方式，忽略內(nèi)部元件的偏差，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確設(shè)置。

1)故障現(xiàn)象:在正常測(cè)樣過程中，突然儀器的高壓出現(xiàn)異常，儀器顯示板上的數(shù)字為 20kV/30MA→0KV/0MA.軟件上出現(xiàn)聯(lián)機(jī)失敗。

采取的措施:現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試高壓，當(dāng)高壓超過 35kV/50MA 時(shí)，軟件就報(bào) FLASH打開儀器后蓋，檢查高壓發(fā)生器和高壓發(fā)生器電纜接頭，發(fā)現(xiàn)高壓電纜頭燒黑，先用酒精清理后檢查高壓電纜頭正常，繼續(xù)檢查發(fā)現(xiàn)高壓發(fā)生器桶內(nèi)的絕緣筒被高壓打裂，有兩條裂痕。導(dǎo)致絕緣筒被打裂。判斷高壓發(fā)生器已壞，換一個(gè)新的高壓發(fā)生器后開機(jī)測(cè)試正常。鎖定高壓發(fā)生器故障進(jìn)行維修。

2)故障現(xiàn)象：X光管頻繁自動(dòng)關(guān)掉

處理：發(fā)現(xiàn)X光管發(fā)生器溫度較高，清理或更換X光管發(fā)生器排風(fēng)扇

3)故障現(xiàn)象：不自檢，不聯(lián)機(jī)、不復(fù)位；多次重新啟動(dòng)還是一樣

處理：卸真空后，重新啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，熒光自檢、聯(lián)機(jī)、復(fù)位正常，但在抽真空時(shí)，不能抽，出現(xiàn)大于25Ka時(shí)間太長(zhǎng)，經(jīng)查發(fā)現(xiàn)油泵和樣品室之間的過濾網(wǎng)堵塞嚴(yán)重，經(jīng)更換后正常。

該單元提供了一個(gè)高度調(diào)節(jié)、低噪音、超穩(wěn)定加速器電源，可從0到-30kV以170uA編程，以及參考加速器的浮動(dòng)燈絲和偏壓電源，用于控制束流。該單元還包括用于驅(qū)動(dòng)探測(cè)器的高壓輸出，包括PMT、閃爍體和接地收集器輸出。

編程信號(hào)利用差分模擬輸入來小化外部噪聲和偏移電壓的影響。提供一個(gè)參考地的發(fā)射電流監(jiān)控裝置和一個(gè)燈絲故障信號(hào)。

為熱電子發(fā)射掃描電子顯微鏡（SEM）提供所需的高電壓。Spellman 的專有封裝技術(shù)與其它SEM電源解決方案相比，在尺寸、成本和性能上都有改進(jìn)。