射頻電源的原理與維修
1. 什么是射頻電源？
全固態(tài)射頻電源的功放采用RF MOFET為元器件，主要由功放模塊，功率檢測模塊，控制模塊和AC/DC電源模塊；功放模塊的功能是通過多級射頻功率放大將晶振產(chǎn)生的特定頻率的小信號放大到所需要的射頻功率。功率檢測模塊的功能是檢測出功放的輸出功率，性能的好壞直接影響到輸出功率的精確度和穩(wěn)定度�？刂颇K的主要功能是控制射頻電源的輸出功率為設(shè)定值，處理工作中的異常比如VSWR保護(hù)，過溫保護(hù)等等。AC/DC模塊將輸入的220V交流電轉(zhuǎn)換成功放，控制模塊功率檢測模塊所需的直流電壓。
一、主 要 技 術(shù) 性 能
射頻源：
1. 板極電壓：200～1500V連續(xù)可調(diào)。
2. 板極電流：≦0.36A
3. 板極直流消耗功率：≦0.58KW。
4. 輸出功率：6～500W連續(xù)可調(diào)。
5. 頻率：13.56MHz
匹配箱：
1. 阻抗匹配范圍：（2.7～45）Ω～j(0～70) Ω
2. 具有手動調(diào)節(jié)網(wǎng)絡(luò)參數(shù)達(dá)到匹配之功能。
3. 網(wǎng)絡(luò)參數(shù)由耦合和調(diào)諧旋鈕刻度讀出。
二、使 用 方 法
1. 逆時針調(diào)節(jié)“Ua調(diào)節(jié)”電位器到低位置（因沒開電源，沒有指示，以調(diào)不動為止），功率計開關(guān)置于2 kW檔。
2. 插上電源插頭，打開電源開關(guān)預(yù)熱5分鐘左右，紅色燈應(yīng)該亮。
3. 按下“Ua—ON”開關(guān)，綠指示燈應(yīng)該亮，緩緩調(diào)節(jié)“Ua調(diào)節(jié)”到500V左右，Ia、功率計應(yīng)有指示，然后反復(fù)調(diào)節(jié)耦合和調(diào)諧旋鈕，直至反映室起輝。起輝后自偏壓應(yīng)有指示。
4. 反復(fù)調(diào)節(jié)耦合和調(diào)諧旋鈕使反射功率減小。Ia約為100mA（在Ua為500V時）。切忌反射功率太大，否則易損壞機(jī)件。
5. 調(diào)節(jié)Ua至所需功率，注意隨時調(diào)節(jié)匹配網(wǎng)絡(luò)使反射功率接近0。
6. 自偏壓的大小和反應(yīng)室及工藝條件有關(guān)，僅供參考。
7. 重復(fù)工作時，只要負(fù)載不變，每次只要關(guān)斷和接通Ua即可。
8. 工作完畢后，Ua調(diào)到低，關(guān)斷電源開關(guān)。
三、安 裝 與 調(diào) 試
1. 電子管的安裝
打開機(jī)箱上蓋，將電子管垂直向下插入管座，插到底，然后順時針旋轉(zhuǎn)大約60度（有限位），套上接線卡子，將螺釘旋緊一些，再蓋上機(jī)箱的上蓋。
注意用手拿電子管時，不能碰
陶瓷部位，以免手上汗跡沾在陶瓷
部位降低管子的耐壓。
2. 接線
如圖，注意射頻電纜接頭要旋
緊，電纜彎曲盡量自然一些。
3. 電源的檢查
在未正式與設(shè)備連調(diào)之前，或在工作過程中有異常，比如不起輝、
不穩(wěn)定、反向功率大等，可單獨(dú)檢查電源。
方法：用假負(fù)載替代真實(shí)負(fù)載，接通電源→開啟開關(guān)→當(dāng)紅色小燈亮后→“Ua調(diào)節(jié)”旋鈕逆時針調(diào)到頭→按下“Ua—ON”開關(guān)→順時針調(diào)Ua到200伏（此時各表頭均有指示）→調(diào)匹配器（反復(fù)調(diào)）使反射功率小，如果這時Ua、Ia、功率都正常，則可認(rèn)為電源工作正常。Ua×Ia×80%≈入射功率。
4. 起輝
在確認(rèn)射頻源正常后，即可接上真實(shí)負(fù)載進(jìn)行調(diào)試。
起輝時，可將Ua調(diào)到400~500V，如果未起輝，反射功率會很大，調(diào)節(jié)耦合和調(diào)諧旋鈕使之起輝，暫且先不管反射功率有多大。如果不起輝，可降低真空度。磁控濺射真空度可降到數(shù)Pa。真空度低些容易起輝。如還不起輝，可采取短時間加大功率的方法。比如Ua加到700V，如果不起輝，馬上把Ua降一點(diǎn)，再調(diào)一下匹配器電容，再略加高Ua，如此重復(fù)進(jìn)行，直到起輝為止。即如果再不起輝，應(yīng)檢查反應(yīng)室及接線部分是否有問題。
起輝后，調(diào)匹配器之電容使反射功率減小直到接近零。如果起輝時真空度較低，起輝后可逐漸提高真空度.
5. 加功率
在起輝正常后，可提高功率，這里要注意的是，在初次起輝時，可能由于反應(yīng)或工作氣體不干凈，設(shè)計上欠合理等因素而使反應(yīng)室內(nèi)打火，這種情況功率不能提高。在正常工作時，通常靶上所加功率為5~10W/cm2,極限功率約為20 W/cm2，所加功率不要超過極限值，否則會燒毀靶。
6. 幾個參考數(shù)據(jù)
射頻功率源駐波比≤1.5
磁控濺射功率密度5～10 W/cm2
磁控濺射壓強(qiáng)0.5～數(shù)Pa
自偏壓:100V～500V（自偏壓與真空度、功率密度、磁控強(qiáng)度、靶材等有關(guān)）
7. 幾種故障的判斷
在正常工作時，如果發(fā)生跳閘現(xiàn)象，則直流供電部分出現(xiàn)故障。
Ua突然變大時，電子管損壞的可能性大。
有Ua無Ia時，驅(qū)動板有故障或高頻插頭接觸不良。
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