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電源模塊或者電源板：燒壞、短路、輸出電壓高于標稱值、輸出電壓低于標稱值、過熱、死機等故障。

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射頻電源設(shè)備維修：刻蝕，RIE,PECVD,ICP,射頻濺射，CVD和PVD等系統(tǒng)，

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