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OXFORD電源維修START SPELLMAN電源XRM50P200

spellman電源常見故障及維修：

故障現(xiàn)象1：打開電源，電源指示燈不亮；

故障現(xiàn)象2：電源燈亮了，預熱燈不亮；

故障現(xiàn)象3：電源燈亮了，預熱燈亮、輝光亮，匹配器功率及反射功率，電源的功率指示和電流指示不正常。（正常的功 率指針指到220，電流指示0.4）

故障現(xiàn)象4：電源燈亮了，預熱燈亮，輝光不亮:；

故障現(xiàn)象5：無功率輸出；

故障現(xiàn)象6：有功率輸出，但是調不大，或是調不到正常值。

故障現(xiàn)象7：無反射功率，或反射功率過大，射頻功率源壞；

大功率射頻RF電源維修，太陽能光伏、半導體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的設備電源，包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC。

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