ADTEC自動阻抗匹配器維修AMVG-2000-FY
ADTEC自動阻抗匹配器維修AMVG-2000-FY
提供全系列ADTEC自動阻抗匹配器維修AMVG-1000-CD，射頻電源維修。
ADTEC自動阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)可以實現(xiàn)高速自動整合，該系列設(shè)備裝備了可以通過個人電腦操作和測量的AMV軟件，設(shè)備內(nèi)置了用于預(yù)設(shè)和LC網(wǎng)絡(luò)的標(biāo)準(zhǔn)庫，還可以根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制，包括I/F，外觀尺寸，整合范圍等。該型射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器具有響應(yīng)速度快，匹配精度高的特點，能夠進(jìn)行控制，快速降低反射功率，減少射頻損耗，提升能源效益。
ADTEC自動阻抗匹配器參數(shù)規(guī)格
AC 電源輸入：1 phase，AC 100 ~ 200V（50 ~ 60Hz），DC 24V，2.5安
RF 射頻輸入：2000W（Max），頻率13.56MHz，50Ω
支持頻率范圍：380kHz ~ 40.68MHz
設(shè)備通過功率：300W ~ 30KW
通訊接口：Remote，I/F
設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱
設(shè)備重量：8kg
射頻電源設(shè)備維修包括：刻蝕，RIE,PECVD,ICP,射頻濺射，CVD和PVD等系統(tǒng)，CPSΜ射頻電源匹配器及RF射頻電源發(fā)生器維修。
應(yīng)用范圍：主要服務(wù)于太陽能光伏、PVD鍍膜，半導(dǎo)體薄膜、離子注入、刻蝕，平板顯示，光盤、光電子LED等制造工藝以及科研院校、研究所等設(shè)備的高壓、直流、射頻電源。主要包括高壓電源HV PSU、射頻電源RFG、匹配網(wǎng)絡(luò)RF Match、直流電源DC POWER、微波發(fā)生器等，提供設(shè)備維護(hù)維修、批量產(chǎn)品維修。
一、維修真空濺射鍍膜設(shè)備、等離子清洗設(shè)備、真空貼合機(jī)、設(shè)備上的電控部件:射頻電源、射頻器、靶材電源、高壓電源、微波電源、磁控濺射電源、中頻電源、高頻電源、遠(yuǎn)程等離子體源、霍爾離子源、脈沖電源、直流電源、氧化源電源、特種電源、匹配器、膜厚儀等。
二、維修儀器設(shè)備:試驗機(jī)、檢測儀、分析儀、光度計、鐳射切割機(jī)、激光器等。
射頻電源設(shè)備主要服務(wù)于太陽能光伏、PVD鍍膜，半導(dǎo)體薄膜、離子注入、刻蝕，平板顯示，光盤、光電子LED等制造工藝以及科研院校、研究所等設(shè)備的高壓、直流、射頻電源。主要包括高壓電源HV PSU、射頻電源RFG、匹配網(wǎng)絡(luò)RF Match、直流電源DC POWER、微波發(fā)生器等，提供設(shè)備維修服務(wù)。
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